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ICP光譜儀又叫電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，由于具有高靈敏度，高精密度，低基體效應(yīng)和具有同時(shí)多元素分析能力等一系列特點(diǎn)，自1975年出現(xiàn)商品儀器以來(lái)，很快在各分析領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用，成為材料、環(huán)境、地礦、冶金、食品、化工、生化、商品檢驗(yàn)及科研領(lǐng)域最通用的無(wú)機(jī)元素分析工具。ICP光譜儀的結(jié)構(gòu)和技術(shù)也在不斷的改進(jìn)和發(fā)展。1991年新的中階梯光柵固態(tài)檢測(cè)器ICP-OES儀器問(wèn)世，即國(guó)內(nèi)所說(shuō)的全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀。1993年國(guó)外生產(chǎn)的該類儀器進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)，目前國(guó)內(nèi)還沒(méi)有制造商將全譜直讀電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀產(chǎn)業(yè)化。

ICP光譜儀是根據(jù)試樣中被測(cè)元素的原子或離子，在光源中被激發(fā)而產(chǎn)生特征輻射，通過(guò)判斷這種特征輻射波長(zhǎng)及其強(qiáng)度的大小，對(duì)各元素進(jìn)行定性分析和定量分析的儀器。